以光速運輸晶圓的同時保持安全性和性。

感光表面無污染、動作輕柔、笛卡爾工作區(qū)域覆蓋面廣－Festo H型高速門架系統(tǒng)為復(fù)雜的晶圓處理提供了良好的解決方案。

不僅如此，它還是一個獲獎?wù)摺Ｔ撝悄芨咚偬幚韱卧蚱涑錾墓夥a(chǎn)技術(shù)獎獲得了2010太陽能大獎。 

空氣軸承ATBT是用于搬運平板顯示器和光伏基板的產(chǎn)品。

空氣軸承ATBT 特別適用于扁平產(chǎn)品的運輸以及傳送領(lǐng)域內(nèi)幾乎任何一種任務(wù)。無論是裝載和卸載，作為中間緩沖用于提升和定位，用真空保持和夾緊物品，或用于檢測檢驗設(shè)備，的X-Y 軸向運動系統(tǒng)或光刻設(shè)備-- 空氣軸承都是運輸系統(tǒng)的*選擇。

該系統(tǒng)的關(guān)鍵在于空氣軸承通過空氣緩沖實現(xiàn)無接觸工作，同時在靜止?fàn)顟B(tài)，幾乎不消耗任何壓縮空氣。均勻的氣流確保了zui大的精度，并縮短循環(huán)時間?？偟膩碚f，空氣軸承ATBT結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間，而且客戶可自定義其長度。

VUVG是標(biāo)準(zhǔn)閥的新基準(zhǔn)。它*根據(jù)Festo“考慮更全面，樹立新標(biāo)準(zhǔn)”的原則進行研發(fā)，并在流量和尺寸之間尋求到*的平衡點。VUVG以易于安裝為基本原理，包含外加螺絲以及密封件上的附加鎖。由于使用了電源連接件，具有大量的派生型可供選擇，的閥芯密封技術(shù)使VUVG閥持久耐用。

SNEC第五屆（2011）太陽能光伏大會暨FESTO（上海）展覽會